對(duì)流化床立式管式爐的簡單介紹
更新時(shí)間:2020-01-03 點(diǎn)擊次數(shù):11505
流化床立式管式爐是門針對(duì)粉末表面沉積的CVD實(shí)驗(yàn)。反應(yīng)氣體和均勻地通過反應(yīng)區(qū)固體顆粒被通入的氣體懸浮在加熱區(qū)內(nèi)爐體設(shè)計(jì)為開啟式,當(dāng)實(shí)驗(yàn)結(jié)束后,可將爐體打開,拿出石英管,取出反應(yīng)后的顆粒。注意:在通入氣體懸浮起樣品顆粒時(shí),也許會(huì)因?yàn)闅怏w流量過大會(huì)使顆粒穿過加熱區(qū),所以實(shí)驗(yàn)時(shí)要根據(jù)顆粒的大小尺寸來調(diào)節(jié)氣體流量等
特點(diǎn)
爐管為高純石英管,爐管內(nèi)部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟,石英板的孔徑可單獨(dú)定制。.粉末可放在多孔石英板上,氣體可從爐管下端通入,通過多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區(qū)域,進(jìn)行沉積實(shí)驗(yàn)
用途
是一款流化床立式管式爐,專門針對(duì)粉末表面沉積的CVD實(shí)驗(yàn)。反應(yīng)氣體和均勻地通過反應(yīng)區(qū)
固體顆粒被通入的氣體懸浮在加熱區(qū)內(nèi)
爐體設(shè)計(jì)為開啟式,當(dāng)實(shí)驗(yàn)結(jié)束后,可將爐體打開,拿出石英管,取出反應(yīng)后的顆粒。
注意:在通入氣體懸浮起樣品顆粒時(shí),也許會(huì)因?yàn)闅怏w流量過大會(huì)使顆粒穿過加熱區(qū),所以實(shí)驗(yàn)時(shí)要根據(jù)顆粒的大小尺寸來調(diào)節(jié)氣體流量等